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集成電路芯片切割機(jī)適用材料

集成電路芯片切割機(jī)適用材料 集成電路芯片切割機(jī)的適用材料與技術(shù)解析

一、引言

集成電路芯片切割機(jī)(Dicing Saw)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,用于將晶圓分割成獨立的芯片(Die)。其切割質(zhì)量直接影響芯片性能和良率,而適用材料的選擇既取決于晶圓本身的特性,也與切割工藝參數(shù)密切相關(guān)。本文系統(tǒng)分析切割機(jī)可處理的材料類型、技術(shù)挑戰(zhàn)及發(fā)展趨勢。

二、核心適用材料類型

1. 硅基材料

– 單晶硅:最主流材料,適用于90%以上的集成電路。切割時需控制刀刃轉(zhuǎn)速(30,000-60,000 RPM)和進(jìn)給速度(50-300 mm/s),避免崩邊(Chipping)。

– SOI(硅絕緣體):多層結(jié)構(gòu)需調(diào)整切割深度,防止分層。例如,10μm器件層的切割需采用激光輔助刀片技術(shù)。

2. 化合物半導(dǎo)體

– GaAs/GaN:用于高頻、光電器件。硬度高(GaN莫氏硬度~8)導(dǎo)致刀片磨損快,需用金剛石涂層刀片配合冷卻液。

– SiC:寬禁帶材料硬度接近鉆石(莫氏9.5),傳統(tǒng)刀片壽命僅硅的1/10,需優(yōu)化切割參數(shù)(如降低進(jìn)給速度至20 mm/s)。

3. 新型晶圓材料

– 玻璃/石英晶圓:用于MEMS和顯示驅(qū)動IC。脆性高,需采用激光隱形切割(Stealth Dicing)避免微裂紋。

– 柔性聚合物基板:PI(聚酰亞胺)等材料要求超薄刀片(厚度≤15μm)或紫外激光切割。

4. 封裝材料

– 環(huán)氧樹脂模塑料(EMC):切割時易產(chǎn)生毛刺,需高頻振動刀片(40 kHz超聲輔助)。

– 銅柱凸塊(Cu Pillar):高密度互連結(jié)構(gòu)要求切割精度<±5μm,避免破壞焊球。 三、材料特性對切割工藝的影響 | 材料特性 | 切割挑戰(zhàn)| 解決方案 | |-|--|--| | 高硬度(SiC) | 刀片磨損快 | 金剛石刀片+主動冷卻系統(tǒng) | | 多層結(jié)構(gòu)(3D IC)| 分層風(fēng)險 | 階梯式切割(Step Dicing)| | 超薄晶圓(<50μm)| 斷裂| DBG(先劃片后研磨)工藝 | | 熱敏感(GaAs) | 熱損傷| 低溫氣霧冷卻(Cryogenic Mist) | 四、前沿技術(shù)適配材料發(fā)展 1. 激光切割技術(shù) - 紫外激光(355nm):適用于硅、GaN的精密切割(切縫<10μm),但成本較高。 - 紅外激光(1064nm):用于有機(jī)材料如PI基板,通過熱燒蝕實現(xiàn)無接觸切割。 2. 等離子切割 針對超薄晶圓(<20μm),通過等離子體蝕刻實現(xiàn)零機(jī)械應(yīng)力切割,但設(shè)備復(fù)雜度高。 3. 混合工藝 - 激光+機(jī)械切割:先激光開槽后刀片精切,用于SiC等難加工材料,提升效率30%。 五、結(jié)論與趨勢 集成電路芯片切割機(jī)的材料適配性正隨半導(dǎo)體技術(shù)演進(jìn)持續(xù)擴(kuò)展: - 傳統(tǒng)硅基:向更?。?10μm)、更大晶圓(12英寸→18英寸)發(fā)展,要求切割機(jī)具備亞微米級定位精度。 - 第三代半導(dǎo)體:SiC/GaN的崛起推動激光切割和特種刀片技術(shù)迭代。 - 異質(zhì)集成:3D IC和Chiplet技術(shù)需要切割機(jī)支持多層材料堆疊的精準(zhǔn)分層處理。 未來,智能化的自適應(yīng)切割系統(tǒng)(如AI實時調(diào)節(jié)參數(shù))和環(huán)保工藝(干式切割)將成為突破方向,以滿足5G、AI芯片對復(fù)雜材料加工的需求。

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激光切割機(jī)可以切割什么材料

激光切割機(jī)可以切割什么材料

激光切割機(jī)可以切割的材料及應(yīng)用領(lǐng)域

一、激光切割技術(shù)概述

激光切割是一種利用高功率密度激光束照射工件,使被照射材料迅速熔化、汽化或達(dá)到燃點,同時借助與光束同軸的高速氣流吹除熔融物質(zhì),從而實現(xiàn)切割的現(xiàn)代加工技術(shù)。這種技術(shù)自20世紀(jì)70年代開始工業(yè)應(yīng)用以來,憑借其高精度、高效率、高柔性和非接觸式加工等優(yōu)勢,已成為現(xiàn)代制造業(yè)不可或缺的加工手段。

二、激光切割機(jī)可切割的主要材料類型

(一) 金屬材料

1. 碳鋼與合金鋼:激光切割在6mm厚度以內(nèi)的碳鋼表現(xiàn)尤為出色,切割面光滑平整。對于高碳鋼、彈簧鋼等材料也能有效加工。

2. 不銹鋼:包括304、316等奧氏體不銹鋼,激光切割能避免傳統(tǒng)加工導(dǎo)致的晶間腐蝕問題,切口質(zhì)量優(yōu)異。

3. 鋁及鋁合金:雖然鋁的高反射率對激光切割構(gòu)成挑戰(zhàn),但現(xiàn)代高功率激光器配合氮氣輔助已能有效切割各種鋁合金。

4. 銅及銅合金:需要特定波長的高功率激光器才能有效切割,主要用于電子行業(yè)精密部件加工。

5. 鈦及鈦合金:在航空航天領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,激光切割可避免傳統(tǒng)方法導(dǎo)致的材料性能下降。

(二) 非金屬材料

1. 亞克力(PMMA):激光切割亞克力邊緣光滑透明,無需二次加工,廣泛應(yīng)用于廣告標(biāo)識制作。

2. 木材與密度板:可實現(xiàn)復(fù)雜圖案的精細(xì)切割,用于家具裝飾、工藝品制作等領(lǐng)域。

3. 塑料與復(fù)合材料:包括ABS、PC、PET等多種工程塑料,但部分含氯塑料(如PVC)切割會產(chǎn)生有害氣體。

4. 橡膠與硅膠:激光切割可實現(xiàn)無變形精密加工,特別適合密封件等產(chǎn)品的生產(chǎn)。

5. 布料與皮革:服裝行業(yè)廣泛應(yīng)用,可實現(xiàn)復(fù)雜花型切割且邊緣不易脫線。

6. 陶瓷與玻璃:超短脈沖激光可實現(xiàn)這些脆性材料的精密加工,但常規(guī)激光切割難度較大。

三、特殊材料的激光切割應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體材料:硅片、砷化鎵等半導(dǎo)體材料的精密劃片與切割。

2. 復(fù)合材料:碳纖維增強(qiáng)塑料(CFRP)、玻璃纖維增強(qiáng)塑料(GFRP)等航空航天材料的加工。

3. 功能性材料:磁性材料、超導(dǎo)材料、形狀記憶合金等特殊功能材料的加工。

4. 生物醫(yī)學(xué)材料:醫(yī)用不銹鋼、鈦合金、生物陶瓷等植入材料的精密成形。

四、材料厚度與激光切割能力

激光切割能力隨材料類型和激光功率變化顯著:

1. 低碳鋼:1500W激光器可切割約10mm,6000W可達(dá)30mm以上

2. 不銹鋼:同等功率下切割厚度約為碳鋼的70-80%

3. 鋁合金:切割厚度通常為碳鋼的50-60%

4. 非金屬材料:如亞克力,100W激光器即可切割20-30mm厚度

值得注意的是,隨著萬瓦級以上超高功率光纖激光器的普及,金屬材料的可切割厚度不斷提升,已突破50mm大關(guān)。

五、激光切割的材料選擇注意事項

1. 材料反射率:金、銀、銅等高反射材料需要特殊波長或參數(shù)的激光器

2. 熱影響區(qū):對熱敏感材料需控制激光參數(shù)以減少熱損傷

3. 切割氣體選擇:氧氣助燃可提高碳鋼切割效率,氮氣則用于不銹鋼等防氧化切割

4. 材料均質(zhì)性:復(fù)合材料或非均質(zhì)材料可能導(dǎo)致切割質(zhì)量不穩(wěn)定

5. 安全考慮:部分材料切割可能產(chǎn)生有毒氣體,需配備相應(yīng)排煙凈化系統(tǒng)

六、激光切割材料的行業(yè)應(yīng)用

1. 汽車制造:車身板材、安全氣囊布料、內(nèi)飾件等

2. 電子電器:電路板、金屬外殼、散熱片等精密部件

3. 航空航天:鈦合金結(jié)構(gòu)件、復(fù)合材料部件

4. 醫(yī)療器械:手術(shù)器械、植入物、診斷設(shè)備零件

5. 建筑裝飾:金屬幕墻、裝飾板材、藝術(shù)構(gòu)件

6. 廣告標(biāo)識:亞克力字、金屬logo、展示道具

七、未來發(fā)展趨勢

隨著激光技術(shù)的進(jìn)步,可切割材料范圍仍在不斷擴(kuò)大:

1. 新型激光源開發(fā):如紫外激光、超快激光拓展了脆性材料加工能力

2. 智能切割系統(tǒng):通過AI技術(shù)自動優(yōu)化不同材料的切割參數(shù)

3. 復(fù)合加工技術(shù):激光與其他能量形式的復(fù)合加工突破傳統(tǒng)限制

4. 環(huán)保型加工:減少能耗和廢料產(chǎn)生,提高可持續(xù)性

總之,現(xiàn)代激光切割機(jī)已能處理從普通金屬到各種特殊材料的廣泛譜系,其應(yīng)用邊界隨著技術(shù)進(jìn)步不斷擴(kuò)展,成為推動制造業(yè)升級的關(guān)鍵技術(shù)之一。用戶在選擇切割材料時,應(yīng)綜合考慮材料特性、厚度、加工要求和設(shè)備能力等因素,以獲得最佳加工效果。

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半導(dǎo)體切片機(jī)

半導(dǎo)體切片機(jī)

切割文明:半導(dǎo)體切片機(jī)與人類認(rèn)知邊界的拓展

在深圳一家高科技企業(yè)的無塵車間里,一臺價值上億元的半導(dǎo)體切片機(jī)正以納米級的精度切割著硅晶圓。刀片以每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn),卻幾乎不產(chǎn)生任何震動;切割產(chǎn)生的碎屑被實時清除,確保每一片晶圓的完美無瑕。這臺機(jī)器的存在,使得人類能夠?qū)⒃局荒芟胂蟮奈镔|(zhì)結(jié)構(gòu)變?yōu)楝F(xiàn)實。半導(dǎo)體切片機(jī)不僅是現(xiàn)代工業(yè)的精密工具,更是人類認(rèn)知邊界拓展的物質(zhì)載體,它代表著人類對物質(zhì)世界掌控能力的又一次飛躍,反映著我們這個時代特有的技術(shù)認(rèn)知方式。

半導(dǎo)體切片機(jī)的技術(shù)演進(jìn)歷程,映射著人類認(rèn)知能力的階梯式發(fā)展。1950年代的第一代切片機(jī)只能實現(xiàn)毫米級的切割精度,操作者需要憑借經(jīng)驗和直覺進(jìn)行調(diào)整。而今天的最先進(jìn)設(shè)備已經(jīng)能夠達(dá)到原子級別的操控,每一個動作都由精密算法控制,人類工程師的角色從直接操作者轉(zhuǎn)變?yōu)槌绦蛟O(shè)計者和監(jiān)督者。這種轉(zhuǎn)變意味深長——正如望遠(yuǎn)鏡延伸了人類的視覺邊界,粒子加速器拓展了我們對微觀世界的理解,半導(dǎo)體切片機(jī)使得人類能夠”觸摸”并重塑物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)。德國哲學(xué)家海德格爾曾言”技術(shù)是真理的一種顯現(xiàn)方式”,半導(dǎo)體切片機(jī)正是這種哲學(xué)觀點的物質(zhì)印證,它揭示了硅晶體內(nèi)部的結(jié)構(gòu)奧秘,使原本不可見的物質(zhì)規(guī)律變得可見且可控。

半導(dǎo)體切片機(jī)的精密運作機(jī)制,體現(xiàn)著現(xiàn)代技術(shù)認(rèn)知的典型特征。與傳統(tǒng)工匠依靠手感與經(jīng)驗不同,半導(dǎo)體切片機(jī)依賴的是量子物理理論、材料科學(xué)原理和計算機(jī)精確控制的完美結(jié)合。機(jī)器中的每一部件——從減震系統(tǒng)到激光測量裝置,從氣流控制系統(tǒng)到實時成像技術(shù)——都代表著不同科學(xué)領(lǐng)域的認(rèn)知成果的物化。法國技術(shù)哲學(xué)家貝爾納·斯蒂格勒指出”技術(shù)記憶構(gòu)成了人類記憶的外化”,半導(dǎo)體切片機(jī)正是這種”技術(shù)記憶”的集大成者,它凝聚了幾代科學(xué)家和工程師對物質(zhì)世界的認(rèn)知,并將這些認(rèn)知轉(zhuǎn)化為可重復(fù)、可傳承的物質(zhì)生產(chǎn)過程。操作者無需完全理解所有底層原理,卻能夠通過界面與機(jī)器”對話”,共同完成前所未有的精密制造。

半導(dǎo)體切片機(jī)對現(xiàn)代社會的影響遠(yuǎn)超單純的制造工具范疇,它正在重塑人類與技術(shù)的關(guān)系。在智能化趨勢下,這些設(shè)備逐漸具備自我診斷、自我調(diào)整的能力,模糊了工具與主體的傳統(tǒng)分界。加拿大媒介理論家馬歇爾·麥克盧漢認(rèn)為”我們塑造工具,然后工具重塑我們”,半導(dǎo)體切片機(jī)的發(fā)展驗證了這一觀點。隨著操作者將越來越多的判斷權(quán)交給算法,人類的認(rèn)知模式也在發(fā)生微妙變化——從直覺性、整體性的思維,逐漸轉(zhuǎn)向系統(tǒng)性、分析性的思考方式。這種轉(zhuǎn)變既帶來了效率的極大提升,也引發(fā)了關(guān)于技術(shù)依賴性的深刻思考。當(dāng)人類將納米級精度的任務(wù)完全委托給機(jī)器時,我們是否也在失去某些直接的物質(zhì)感知能力?這個問題沒有簡單答案,卻值得每一個技術(shù)時代的人深思。

半導(dǎo)體切片機(jī)的鋼制外殼下,跳動著我們這個文明最前沿的認(rèn)知脈搏。它既是對物質(zhì)世界規(guī)律的探索工具,也是人類認(rèn)知能力的延伸載體。從更廣闊的視角看,這類高精尖設(shè)備象征著人類試圖理解并重塑物質(zhì)世界的永恒追求——從石器時代的燧石到青銅器的模具,從中世紀(jì)的光學(xué)鏡片到現(xiàn)代的納米級切片刀片,工具的精密度始終與人類對世界的認(rèn)知深度緊密相連。法國古生物學(xué)家德日進(jìn)曾預(yù)言人類正朝著”心智圈”的形態(tài)進(jìn)化,在這個進(jìn)化過程中,類似半導(dǎo)體切片機(jī)這樣的精密設(shè)備將成為不可或缺的認(rèn)知媒介。它們不僅是工業(yè)生產(chǎn)的工具,更是人類拓展認(rèn)知邊疆的先鋒,持續(xù)推動著文明向未知領(lǐng)域進(jìn)發(fā)。在這個意義上,每一片被完美切割的晶圓,都是人類智慧與物質(zhì)世界的一次成功對話。

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多線切割機(jī)

多線切割機(jī)

切割的藝術(shù):多線切割機(jī)如何重塑現(xiàn)代工業(yè)的精度與可能

在浙江一家光伏硅片生產(chǎn)企業(yè)的無塵車間里,數(shù)臺多線切割機(jī)正以令人驚嘆的精度將圓柱形硅錠切割成厚度僅150微米的薄片。這些薄如蟬翼的硅片經(jīng)過后續(xù)加工,將成為太陽能電池的核心組件。這個場景生動展現(xiàn)了多線切割技術(shù)如何推動著清潔能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。作為現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域的革命性工具,多線切割機(jī)以其獨特的切割原理和卓越的性能,正在重塑從半導(dǎo)體到光伏,從藍(lán)寶石加工到磁性材料等多個高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的制造格局。

多線切割機(jī)的核心技術(shù)在于其”以柔克剛”的切割哲學(xué)。與傳統(tǒng)單片鋸或激光切割不同,多線切割采用高速運動的金屬絲(通常為鍍銅或鍍鋅鋼琴線)作為切割媒介,配合碳化硅或金剛石磨料的研磨作用實現(xiàn)材料分離。這種切割方式的精妙之處在于,細(xì)至0.06-0.2mm的切割線在張力系統(tǒng)控制下保持極高的直線度,通過導(dǎo)輪系統(tǒng)形成數(shù)百甚至上千條平行切割線,如同一位技藝精湛的雕刻師同時操控?zé)o數(shù)把刻刀。當(dāng)切割線以每秒10-20米的速度運動時,配合精密控制的進(jìn)給系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)±0.005mm的切割精度,這是傳統(tǒng)切割技術(shù)難以企及的高度。

多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計體現(xiàn)了現(xiàn)代機(jī)械工程的智慧結(jié)晶。核心張力系統(tǒng)通過伺服電機(jī)和傳感器實時調(diào)節(jié)每根切割線的張力,確保切割過程中張力波動不超過±0.1N;導(dǎo)輪系統(tǒng)采用特殊陶瓷或復(fù)合材料制成,表面經(jīng)過鏡面拋光,使金屬絲能夠平穩(wěn)運行而不產(chǎn)生額外振動;先進(jìn)的冷卻過濾系統(tǒng)則不斷循環(huán)和凈化切割液,既帶走切割熱量又及時清除切割碎屑。這些子系統(tǒng)在數(shù)控系統(tǒng)的統(tǒng)一調(diào)度下協(xié)同工作,使多線切割機(jī)能夠24小時不間斷穩(wěn)定運行,將人為干預(yù)降至最低。特別值得一提的是現(xiàn)代多線切割機(jī)的”斷線檢測”功能,通過光學(xué)或電阻抗監(jiān)測技術(shù),能在毫秒級時間內(nèi)發(fā)現(xiàn)斷線并自動停機(jī),避免價值數(shù)十萬元的工件報廢。

在光伏產(chǎn)業(yè)中,多線切割機(jī)扮演著硅片制造”守門人”的關(guān)鍵角色。隨著光伏行業(yè)向大尺寸、薄片化方向發(fā)展,對硅片切割提出了更嚴(yán)苛的要求。最新型的多線切割機(jī)已能處理直徑達(dá)12英寸的硅錠,并將硅片厚度從常規(guī)的180微米減至150微米甚至更低,每公斤硅料出片量提升約15%,直接降低了太陽能電池的制造成本。更令人驚嘆的是,這些機(jī)器在完成如此精密切割的同時,還能保持硅片表面損傷層小于5微米,大幅減少了后續(xù)拋光處理的材料損耗。據(jù)國際光伏技術(shù)路線圖(ITRPV)統(tǒng)計,多線切割技術(shù)的進(jìn)步貢獻(xiàn)了光伏發(fā)電成本下降因素的約23%,是推動光伏平價上網(wǎng)的重要技術(shù)力量。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對多線切割機(jī)的依賴更為深刻。在集成電路制造的前道工序中,多線切割機(jī)負(fù)責(zé)將單晶硅棒精確切割成晶圓,其切割質(zhì)量直接影響芯片制造的良率。以12英寸晶圓為例,切割后的厚度偏差需控制在±2微米以內(nèi),TTV(總厚度變化)不超過3微米,表面粗糙度Ra<0.2微米。這些嚴(yán)苛要求只有配備激光測距和自適應(yīng)控制系統(tǒng)的多線切割機(jī)才能滿足。近年來,隨著第三代半導(dǎo)體材料如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)的興起,多線切割機(jī)又面臨新的挑戰(zhàn)——這些材料的硬度是硅的3-4倍,傳統(tǒng)切割方式效率極低。行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)通過開發(fā)新型金剛石涂層切割線和優(yōu)化切割參數(shù),成功將碳化硅晶圓的切割效率提升了300%,使電動汽車和5G通信所需的高效功率器件量產(chǎn)成為可能。 多線切割技術(shù)的進(jìn)步還催生了一系列令人驚嘆的工業(yè)奇跡。在消費電子領(lǐng)域,多線切割機(jī)能夠?qū)⑺{(lán)寶石晶體切割成0.15mm厚的蓋板玻璃,為高端智能手機(jī)提供抗刮擦保護(hù);在醫(yī)療器械領(lǐng)域,多線切割制備的鈦合金骨板具有精確的孔隙結(jié)構(gòu),促進(jìn)骨骼生長;甚至在藝術(shù)領(lǐng)域,多線切割技術(shù)被用于創(chuàng)作大型石雕作品,實現(xiàn)傳統(tǒng)工具無法完成的復(fù)雜幾何形狀。這些應(yīng)用不斷拓展著多線切割技術(shù)的邊界,也反向推動著機(jī)器性能的持續(xù)進(jìn)化。 展望未來,多線切割技術(shù)將朝著"更細(xì)、更薄、更快"的方向發(fā)展。德國某領(lǐng)先設(shè)備制造商已展示出使用0.03mm超細(xì)切割線進(jìn)行微加工的概念機(jī),有望實現(xiàn)50微米以下厚度的硅片切割;人工智能算法的引入將使切割參數(shù)實現(xiàn)實時動態(tài)優(yōu)化,預(yù)計可提升切割效率20%以上;而新型納米涂層切割線的開發(fā)可能徹底解決硬脆材料切割中的崩邊問題。與此同時,多線切割機(jī)正與激光切割、電火花加工等技術(shù)融合,形成復(fù)合加工解決方案,滿足日益復(fù)雜的工業(yè)需求。 從某種意義上說,多線切割機(jī)的發(fā)展歷程是現(xiàn)代精密制造業(yè)的縮影——通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新,將看似不可能實現(xiàn)的加工要求變?yōu)槿粘Ia(chǎn)現(xiàn)實。在追求"極致精度"的道路上,多線切割技術(shù)不僅改寫了多個產(chǎn)業(yè)的制造規(guī)則,更為人類科技進(jìn)步提供了關(guān)鍵的物質(zhì)基礎(chǔ)。當(dāng)我們使用各種電子設(shè)備、享受清潔能源、受益于先進(jìn)醫(yī)療技術(shù)時,或許不會想到這些便利背后,都有著那些在工廠中默默運轉(zhuǎn)的多線切割機(jī)的貢獻(xiàn)。這種將堅硬材料轉(zhuǎn)化為輕薄精密元件的能力,正是現(xiàn)代工業(yè)文明中一種獨特而重要的"切割的藝術(shù)"。

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CO2激光打標(biāo)機(jī)

CO2激光打標(biāo)機(jī)核心光學(xué)部件均采用美國原裝進(jìn)口產(chǎn)品,CO2射頻激光器是一種氣體激光器,激光波長為10.64μm,屬于中紅外頻段,CO2激光器有比較大的功率和比較高的電光轉(zhuǎn)換率。

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光纖激光打標(biāo)機(jī)

采用光纖激光器輸出激光,再經(jīng)高速掃描振鏡系統(tǒng)實現(xiàn)打標(biāo)功能。光纖激光打標(biāo)機(jī)電光轉(zhuǎn)換效率高,達(dá)到30%以上,采用風(fēng)冷方式冷卻,整機(jī)體積小,輸出光束質(zhì)量好,可靠性高。

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行業(yè)場景

客戶案例和應(yīng)用場景

適用于【激光打標(biāo)適用于各種產(chǎn)品的圖形、logo和文字】 多行業(yè)需求

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