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6寸半自動(dòng)劃片機(jī)

BT3252 精密砂輪劃片機(jī)

高效率高精度高性能

BT3252 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開槽。 




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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

產(chǎn)品介紹

應(yīng)用:

6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰、碲鋅鎘CZT等材料的精密切割;廣泛用于IC集成電路,LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、醫(yī)療器械、閃爍晶體等行業(yè)。

其他特征:

低氣壓、水壓、工作臺(tái)伺服、轉(zhuǎn)臺(tái)伺服、主軸驅(qū)動(dòng)、測高系統(tǒng)、控制系統(tǒng)的故障報(bào)警,操作腔門安全鎖,漏水檢測、主軸電流監(jiān)控、真空不足保護(hù)功能。



產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目

產(chǎn)品型號(hào)

BT3252 精密砂輪劃片機(jī)


加工尺寸(Processing size)

≤150mm

運(yùn)動(dòng)方式(Movement style)

單軸半自動(dòng)

X軸(X-axis)

最大速度(Max speed)

600mm/s

直線度(Straightness)

2μm全行程

 

Y軸(Y-axis)

有效行程(Valid trip)

150mm

定位精度(Positioning accuracy)

2μm全行程

分辨率(Resolution)

0.1μm

Z軸(Z-axis)

有效行程(Valid trip)

35mm

最大刀輪直徑(Max tool wheel diameter)

60mm

T軸(T-axis)

轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍(Rotation angle range)

380°

主軸(Spindle)

最大轉(zhuǎn)速(Max speed)

40000rpm/min

額定輸出功率(Rated output power)

直流/交流1.5KW

 

 

基礎(chǔ)規(guī)格

(Basic specifications)

電源(Power supply)

220V/50Hz

壓縮空氣(Compressed air)

0.5-0.6Mpa Max 180L/min

切削水(Cutting water)

0.2-0.3Mpa Max 4L/min

排風(fēng)流量(Exhaust air volume)

2m3/min

尺寸(Size)

660mm×1108mm×1680mm

重量(Weight)

600KG



樣品案例

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